晶片供給和回收部分
(1)片盒載物臺和片盒是為了從中取出和回收晶片的機構(gòu)，設計成4個片盒位置，還設計有專門回收測定厚度失敗晶片的片盒載物臺以及片盒。
(2)機械手臂從片盒里吸出晶片放到加工和測定位置上，又把完成*后工序之后的晶片在回收片盒上，從取出晶片和回收晶片在片盒里位置是相對應不變的。
(3)片盒里沒有晶片或者裝滿加工后的晶片就會自動報警，提示操作工換片盒。
(4)設有判斷有無片盒即有無品片的傳感器。
(5)目錄操作里實現(xiàn)各個機器動作。
(4)設有判斷有無片盒即有無品片的傳感器。
(5)目錄操作里實現(xiàn)各個機器動作。
